說(shuo)明:經低溫等(deng)離子體處理(li)后(hou)能有效去除激光打孔(kong)(kong)后(hou)的(de)碳化(hua)(hua)(hua)物(wu),起到(dao)藥水(shui)無法徹底凈化(hua)(hua)(hua)的(de)效果,能對激光打孔(kong)(kong)后(hou)的(de)孔(kong)(kong)壁及孔(kong)(kong)底做清(qing)潔(jie)、粗(cu)化(hua)(hua)(hua)與活(huo)化(hua)(hua)(hua)處理(li),大幅度(du)提高激光鉆孔(kong)(kong)后(hou)PTH工藝(yi)的(de)良(liang)率與可靠性(xing),克服鍍銅層(ceng)與孔(kong)(kong)底銅材的(de)裂紋存在(zai)。
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