機臺型號：Suncola-PM17A
整機規格：2000(W)×1500(D)×1960(H)  mm
電極規格：17層平板式電極板（944W×790 D mm  (28W ×24D in)）
電源系統：10KW等離子體發生源（40KHz，可選13.56MHz）
控制系統：PC工控系統+PLC自動控制
進氣系統：2—5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2

特 點(dian)：高精度，快(kuai)響(xiang)應，良好的操控(kong)性和兼容性，完善的功(gong)能(neng)和專業的技術支持

用 途：適用于印制線路板行業，半導體IC領域，硅膠、塑膠、聚合體領域，汽車電子行業，航空工業等。
1、印制線路板行業：高頻板表面活化，多層板表面清潔、去鉆污，軟板、軟硬結合板表面清潔、去鉆污，軟板補強前活化。
2、半導體IC領域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗
3、硅膠、塑(su)膠、聚合體領域：硅膠、塑(su)膠、聚合體的表面粗化(hua)、刻蝕、活化(hua)