機臺型號：Suncola-PH16H
整機規格：1820mm(W)×1100mm(D)×1860mm（H）
電極規格：16層垂直式式電極板（850mm×550mm）
電源系統：10KW等離子體發生源（40KHz，可選13.56MHz）
控制系統：PC工控系統+PLC自動控制
進氣系(xi)統：2—5路工作(zuo)氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2

特 點：高精度，快響(xiang)應，良好的(de)操控性和(he)兼容性，完善(shan)的(de)功能和(he)專業的(de)技術支持

用 途：適用于印制線路板行業，半導體IC領域，硅膠、塑膠、聚合體領域，汽車電子行業，航空工業等。
1、印制線路板行業：高頻板表面活化，多層板表面清潔、去鉆污，軟板、軟硬結合板表面清潔、去鉆污，軟板補強前活化。
2、半導體IC領域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗
3、硅(gui)膠、塑(su)膠、聚合(he)體領域(yu)：硅(gui)膠、塑(su)膠、聚合(he)體的表面粗化、刻(ke)蝕、活化