低溫等離子體（Plasma）應用已經是一個具有全球影響的重要的科學與工程，對高科技經濟的發展及傳統工業的改造有著巨大的影響。三分之一微電子器件設備采用等離子體技術；高分子材料百分之九十都要經過低溫等離子體的表面處理和改性。科學家預測：二十一世紀低溫等離子體科學與技術將會產生突破，低溫等離子體技術在半導體工業、聚合物薄膜、材料防腐蝕、等離子體電子學、等離子體合成、等離子體冶金、等離子體煤化工、等離子體三廢處理等領域對傳統工藝將有革命性的改變。
　　等離子體輔助加工被用來制造特種優良性能的新材料、研制新的化學物質和化學過程，加工、改造和精制材料及其表面，具有極其廣泛的工業應用--從薄膜沉積、等離子體聚合、微電路制造到焊接、工具硬化、超微粉的合成、等離子體噴涂、等離子體冶金、等離子體化工、等離子體輔助加工目前已開辟的應用領域包括：
　　●半導體集成電路及其它微電子設備的制造
　　●工具、模具及工程金屬的硬化
　　●藥品的生物相溶性包裝材料的制備
　　●表面防蝕及其它薄層的沉積
　　●特殊陶瓷（包括超導材料，粉末）
　　●新的化學物質及材料的制造
　　●聚合物薄膜的印刷和制備
　　●有害廢物的處理
　　●磁記錄材料和光學材料
　　●精細加工
　　●照明及顯示
　　●電子電路及等離子體二極管開關
　　●等離子體化工（氫等離子體裂解煤制乙炔、等離子體煤氣化、等離子體裂解重烴、等離子體制炭黑、等離子體制電石等）